全自动光刻机厂家-苏州海思微电子科技有限公司

苏州海思微电子科技有限公司是专业从事步进式投影光刻机、全自动光刻机 (Mask Aligner) 研发、制造与销售，在2018年开始销售第一台量产型全自动光刻机，累计超过70台装机量并平稳运行。 海思掩模对准可容纳 300 mm 产品，兼容不容形状和厚度的晶圆和基片，应用于MEMS，集成电路、混合模块、化合物半导体、光电模块、3D封装，光学器件、功率器件，微纳米加工等各个领域。

目前已与国际多家知名半导体制造企业、研究所建立了合作关系，我们拥有在半导体设备制造和光刻领域等经验丰富的专业团队，海思科技秉承为客户提供优质 的技术方案，且不断优化业务结构和提升服务品质，持续为客户提供高品质服务。

海思科技产品：

化合物半导体专用全自动接触式光刻机 (Mask Aligner) 

功率器件专用全自动光刻机(Mask Aligner)

MEMS传感器 全自动掩膜版光刻机(Mask Aligner)

步进式投影光刻机（化合物、MESM、功率器件等领域单面或双面光刻工艺）